冷水機在真空系統及真空鍍膜機上的應用

一：冷水機在真空鍍膜工藝中有什么作用？

真空鍍膜工作原理是：膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結晶。由于空氣對蒸發(fā)的膜體分子會(huì )產(chǎn)生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無(wú)光，所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮，果如真空度不高結晶體就會(huì )失去光澤結合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發(fā)體自然散射，結合差工效低光澤差?，F在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜，解決了過(guò)去自然蒸發(fā)無(wú)法加工的膜體品種，如鍍鈦鍍鋯等等。

中頻設備必須加冷卻水，原因是它的頻率高電流大。電流在導體流動(dòng)時(shí)有一個(gè)集膚效應，電荷會(huì )聚集在電導有表面積，這樣使電導發(fā)熱所以采用中孔管做導體中間加水冷卻。 磁控濺射靶在發(fā)射時(shí)會(huì )產(chǎn)生高溫會(huì )使射槍變形，所以它有一個(gè)水套來(lái)冷卻射槍。同時(shí)還有一個(gè)重要原因磁控濺射可以被認為是鍍膜技術(shù)中的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜 - 基結合力好

二：冷水機成部分和部件

     真空鍍膜膜設備配備冷水機是為了達到高效率、高精度控制溫度的目的以保證鍍件的高質(zhì)量，增加鍍件的密度和平滑，縮短電鍍周期，提高生產(chǎn)效率和改善產(chǎn)品的質(zhì)量。

      真空鍍膜設備專(zhuān)用的冷水機主要組成有：壓縮機，貯液器，干燥過(guò)濾器，熱力膨脹閥，蒸發(fā)器，制冷劑，冷凝器。

      壓縮機是心臟，冷水機制冷系統通過(guò)壓縮機輸入電能，將熱量沖低溫環(huán)境排放到高溫環(huán)境，制冷壓縮機決定整個(gè)系統的效率。

      貯液器安裝在冷凝器后面，于冷凝器的排液管直接連通，貯液器起到調劑和貯存制冷劑的作用。

      冷凝器可分為三類(lèi)：風(fēng)冷式冷凝器、蒸發(fā)式冷凝器和水冷式冷凝器，冷凝器起著(zhù)輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。

      干燥過(guò)濾器預防制冷輪回中水分和污染物等的進(jìn)入導致影響制冷裝置的正常使用。

      熱力膨脹閥安裝在干燥過(guò)濾器和蒸發(fā)器之間，主要作用使使高溫的制冷劑液體節流降壓變?yōu)榈蜏氐盅簼裾羝M(jìn)入蒸發(fā)器從而達到制冷降溫的作用。

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